組分 | 濃度 | 雜質要求 |
二氧化碳Carbon Dioxide | 4% | 水份H2O<2.2 vppm |
一氧化碳Carbon Monoxide | 6% | 碳氫化合物Hydrocarbons (CnHm) < 0.3 vppm |
氧氣Oxygen | 3% | 氫Hydrogen < 0.4 vppm |
氙Xenon | 3% | 氪Krypton < 1.6 vppm |
氮氣Nitrogen | 19% | 氬Argon < 2.4 vppm |
氦氣Helium | 65% 平衡 | 氖Neon < 0.4 vppm |
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