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| 序號 | 電子混合氣體匯總 |
| 1 | 二氯硅烷（DCS)5000ppm + N2； 二氯硅烷（DCS) 15ppm + N2 |
| 2 | 二氯硅烷（DCS)10 ppm + 三氯硅烷(TCS)10 ppm + 氦 |
| 3 | HCl 50ppm + 二氯硅烷（DCS)1000ppm + 平衡He |
| 4 | 硅烷1% + 二氯硅烷（DCS)1% + 三氯硅烷(TCS)1% + 四氯化硅1% +氮 |
| 5 | 硅烷50ppm + 三氯硅烷(TCS)1000ppm + He |
| 6 | 三氯硅烷(TCS) 15ppm + N2 |
| 7 | 乙硅烷(Si2H4） 100ppm ～ 200ppm + H2 |
| 8 | 乙硅烷 10ppm + He |
| 9 | CO2 5ppm + 硅烷135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He |
| 10 | SiH4 5ppm ～ 15%+Ar(H2/N2/He) |
| 11 |
H2 5ppm + Ar 5ppm +N2 5ppm +CO 5ppm + |
| 12 | 乙硼烷 50～100ppm + H2 |
| 13 | 砷烷 100ppm～0.7% + H2 |
| 14 | 鍺烷 1%～10% + H2 |
| 15 | 三氯化硼1%～5% + N2（He） |
| 16 | PH3 0.8ppm ～ 500ppm + He(H2) |
| 17 | HCl 9ppm～50% + N2 |
| 18 | NF3 99.99% 180g～1500g |
| 19 | NF3 20ppm～30ppm + Air |
| 20 | NF3 15ppm + N2 |
| 21 | CF4 80% + O2 |
| 22 | Ar 5ppm～80% + Ne（H2/He/N2） |
| 23 | Kr 8%～50% + Ar |
| 24 | Ne 80%～97% + Ar |
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